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ナノテク Information

SiO2堆積基板に塗った電子線ネガレジスト（SAL601）に描いた、”斜に構えた北海道”です。SiO2の堆積は、プラズマCVD装置（サムコ、PD-220ESN）、描画は超高精度電子ビーム描画装置（エリオニクス、ELS-7700H）でおこない、高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡（日本電子、JSM-6700FT）で観察しました。（北大電子研技術部 遠藤礼暁 技術職員ご提供）
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